网站地图  |  XML地图

联系我们

  • 澳门网站-首页
  • 销售直线:0755-85271665
  • 传真:0755-85271665
  • 邮箱:324523332@qq.com
  • 地址:肇庆市宝安区松岗街道红星社区宏海大厦8栋1楼

行业资讯

您的位置: 主页 > 行业资讯 >

分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

发布日期:2020-06-27 07:24

  、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业,就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样,MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测,未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势,年平均增加率约为18%,因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。

  MEMS可以用类似集成电路的设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单、易用和智能化。相对于传统的机械量传感器,MEMS压力传感器的尺寸更小,最大的不超过一个厘米,相对于传统“机械”制造技术,其性价比大幅度提高。

  美国Oak Ridge国家实验室的Panos Datskos与Nickolay Lavrik使用MEMS传感器检测出5.5 fs的物质,创造了一项新的世界纪录。其使用的只有2 tun长、50 am厚的硅悬臂,由一种廉价的二极管激光器振动。

  Datskos计划提高MEMS传感器的灵敏度,通过将谐振频率从目前的2 MHz提高到50 MHz,澳门网站,并且相应地使悬臂更小、更硬,最终完成检测单个分子的目标。

  飞思卡尔半导体(Freescale)推出3款具备高感应度的传感器,采用微机电制成的MMA6270Q(XY一轴)、MMA6280Q( 一轴)和MMA7261Q(XYZ一轴)传感器,为锁定低成本消费电子市场的低重力(1owg)传感器,可以探测透过微小的力量变化就可导致的坠落、倾斜、移动、定位和振动。

版权所有:澳门网站-首页 备案号: